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洁净室是怎么进行分类的

2019-05-30 14:15:45

  1.乱流式:空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状况。此型式适用于洁净室等级1000-100000级。

  长处:结构简单、系统缔形成本不高,洁净室扩大比较简单,在某些特殊用途场所,可并用无尘作业台,提高洁净室等级。

  缺陷:乱流形成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制造产品。另外若系统中止作业再激活,欲到达需求的洁净度,往往须耗时适当长的时刻。

  2.层流式:层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由掩盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需求较高的环境运用,一般其洁净室等级为1-100。其型式可分为二种:

  (1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙面之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下贱侧污染较严峻。

  长处:结构简单,作业后短时刻内即可变成稳定。

  缺陷:缔造费用比乱流式高,室内空间不易扩大。

  (2)笔直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器掩盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或作业人员所发生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它作业区域。

  长处:管理简单,作业开始短时刻内即可达稳定状况,不易被作业状况或作业人员所影响。

  缺陷:结构费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架适当占空间,修理更换过滤器较麻烦。

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  3.复合式:复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供部分超洁净之空气。

  (1)洁净地道:以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或作业区域100%掩盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装作业费用。此型式需将作业人员的作业区与产品和机器修理予以隔离,以防止机器修理时影响了作业及质量,ULSI制程大都选用此种型式。洁净地道还有二项长处:

  A.弹性扩大简单;

  B.修理设备时可在修理区容易履行。

  (2)洁净管道:将产品流程通过的自动出产线围住并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境彼此隔离,少量的送风即可得到良好的洁净度,可节省能源,不需人工的自动化出产线比较适宜运用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

  (3)并装部分洁净室:将洁净室等级1000-100000之乱流洁净室内的产品制程区的洁净度等级提高为10-1000级以上,作为出产之用;洁净作业台、洁净作业棚、洁净风柜即属此类。

  洁净作业台:等级1-100级。

  洁净作业棚:为在乱流式的洁净室空间内以防静电的通明塑料布围成一小空间,选用独立的HEPA或ULPA及空调送风机组而成为较高级的洁净空间,其等级为10-1000级,高度在2.5米左右,掩盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可以弹性运用。


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