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半导体无尘车间的设计及运作注意事项有哪些

2019-08-24 16:22:16

  1.半导体洁净无尘车间内部要保证粉尘只出不进,因而洁净无尘车间室内要坚持大于大气压的环境。这就需求用大型鼓风机将经净化设备的空气源源不绝地打入洁净车间

  2.为坚持恒温与恒湿,大型空调设备须调配前述之鼓风加压体系运用。鼓风机加压多久,空调就得开多久。

  3.所有经净化设备的空气流动方向均由上往下为主,因而,洁净无尘车间室内空间设计或机台摆放应避免突兀,使尘土细菌等在洁净无尘车间内回旋阻滞的机会与时刻减至最低程度。

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  4.半导体洁净无尘车间所有用得到的气源,包括吹干晶圆及机台空压所需求的,都得运用氮气 (98%),吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮。

  在半导体无尘车间的制作过程中,除了厂房的主体结构施工以及上述的重点难点外,还有洁净修建装修施工、净化空调体系及其风管、过滤器的施工设备、高纯水体系及其管线的设备、高纯气体体系(含特种气体供给等)及其管线设备、真空体系及其管线的设备、化学品供给体系及其管线的设备、各种排风和排气体系及其处理设备的设备、消防安全报警体系及其操控设备的设备、变配电、电气体系及其桥架、配管配线的设备、照明体系及灯具的设备、防微振设备的设备、出产工艺设备及其配管配线的设备等。

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